Chapter 3:器件 Device

二极管与 MOS 管的直观工作原理、基本器件方程,以及二阶效应和深亚微米效应。

本章目标

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  • 介绍对器件工作原理的直观理解
  • 介绍基本器件方程
  • 分析二阶效应深亚微米效应

二极管

基本结构

二极管的结构与符号表示,自然不必多说

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零偏置条件下的二极管内部电荷、电场、电势分布如下:

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如果考虑加入正向偏置电压VDV_D

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电流特性如下图:

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电容特性

耗尽层电容:

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VDV_D与结的类型对电容的影响

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等效模型

左图(a)为理想二极管模型,使用公式ID=IS(eVDϕT1)I_D = I_S(e^{\frac{V_D}{\phi_T}} - 1)来进行计算;

右图(b)为一个更加简化的一阶二极管模型,导通电压0.7V

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SPICE二极管模型

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MOS Transistor | MOS管

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简化开关模型

简化模型

即关断的时候就是开关断开,导通的时候就是有一个导通电阻

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开关模型电阻计算

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速度饱和下的等效电阻模型

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  • 条件:VDDVDSATV_{DD} \gg V_{DSAT}
  • 场景:NMOS 放电,VGS=VDDV_{GS}=V_{DD},输出电压对应 VDS:VDDVDD/2V_{DS}: V_{DD}\rightarrow V_{DD}/2
  • 在这段放电过程中,通常有VDS>VDSATV_{DS} > V_{DSAT} 因此晶体管基本一直处于速度饱和区
  • 此时电流可近似写为ID(V)IDSAT(1+λV)I_D(V)\approx I_{DSAT}(1+\lambda V),其中IDSAT=kWL[(VDDVT)VDSATVDSAT22]I_{DSAT}=k'\frac{W}{L}\left[(V_{DD}-V_T)V_{DSAT}-\frac{V_{DSAT}^2}{2}\right]

可以据此计算等效电阻

Req=1VDD/2VDDVDD/2VIDSAT(1+λV),dVR_{eq} = \frac{1}{-V_{DD}/2} \int_{V_{DD}}^{V_{DD}/2} \frac{V}{I_{DSAT}(1+\lambda V)},dV

近似结果:

Req34VDDIDSAT(179λVDD)R_{eq}\approx \frac{3}{4}\frac{V_{DD}}{I_{DSAT}} \left(1-\frac{7}{9}\lambda V_{DD}\right)

前面这个值是用积分算出来的平均电阻,下图使用平均法,即12(Ron(t1)+Ron(t2))\frac{1}{2} (R_{on}(t_1) + R_{on}(t_2))来计算,结果也是类似的,那么定性分析上趋势是相同的

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Req34VDDIDSAT(156λVDD)R_{eq}\approx \frac{3}{4}\frac{V_{DD}}{I_{DSAT}} \left(1-\frac{5}{6}\lambda V_{DD}\right)
影响电阻大小的定性结论:
  1. ReqLWR_{eq}\propto \frac{L}{W},管子越宽,电阻越小
  2. VDDV_{DD} 很大时,速度饱和主导,ReqR_{eq}VDDV_{DD} 不太敏感
  3. VDDV_{DD} 接近 VTV_T 时,导通能力急剧变差,ReqR_{eq} 会大幅上升

MOS电容

三种状态的电容

  1. 积累 —— Accumulation
  2. 耗尽 —— Depletion
  3. 反型 —— Inversion

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阈值电压

基本参数

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Body Effect

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线性区公式

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长沟道线性区&饱和区公式

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SCE效应 —— Short Channel Effect

速度饱和

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Id-Vgs曲线

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  1. 短沟道会更早饱和VDSAT<VGSVTV_{DSAT}<V_{GS}−V_T
  2. 短沟道在速度饱和下更接近线性电压关系(近似线性IDSAT(VGSVT)I_{DSAT}∝(V_{GS}−V_T)
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MOSFET 统一手工分析模型

一套公式覆盖 MOSFET 所有工作区(截止、线性、速度饱和、饱和(非速度饱和))

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  • 定义过驱动电压VGT=VGSVTV_{GT} = V_{GS} - V_T
  • 定义Vmin\mathbf{V_{min}}: Vmin=min(VGT, VDS, VDSAT)V_{min} = \min(V_{GT},\ V_{DS},\ V_{DSAT})VminV_{min} 的作用:
    1. VDS<VGTV_{DS} <V_{GT}VDS<VDSATV_{DS} <V_{DSAT}VDSV_{DS} 最小 → 线性区
    2. VGT<VDSV_{GT} < V_{DS}VGT<VDSATV_{GT} < V_{DSAT}饱和区且没有速度饱和
    3. VDSAT<VDSV_{DSAT} < V_{DS}VDSAT<VGTV_{DSAT} < V_{GT}饱和区且速度饱和

截止区(VGT0V_{GT} \leq 0):ID=0I_D = 0

导通区VGT0V_{GT} \geq 0):ID=kWL(VGTVminVmin22)(1+λVDS)I_D = k'\frac{W}{L}\left(V_{GT}V_{min} - \frac{V_{min}^2}{2}\right)(1 + \lambda V_{DS})

体效应:源衬底存在电压差 VSBV_{SB} 时,阈值电压 VTV_T 随之升高:

VT=VT0+γ(2ϕF+VSB2ϕF)V_T = V_{T0} + \gamma\left(\sqrt{|{-2\phi_F + V_{SB}}|} - \sqrt{|{-2\phi_F}|}\right)

亚阈值条件

在Vgs=Vt附近的时候:

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亚阈值摆幅

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亚阈值条件下,IDI_DVGSV_{GS}的关系表达式:

IDI0eqVGSnkT,n=1+CDCoxI_D ∝ I_0 e^{\frac{qV_{GS}}{nkT}}, n = 1 + \frac{C_D}{C_{ox}}

亚阈值摆幅就是电流IDI_D每变化十倍,VGSV_{GS}变化了多少,用ΔVGS\Delta V_{GS}衡量

ΔVGS=S=n(kTq)ln(10)\Delta V_{GS} = S = n(\frac{kT}{q})ln(10)

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MOSFET 的动态行为——寄生电容

主要电容类别

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Structure Capacitance | 结构电容

CGSOC_{GSO}CGDOC_{GDO}:栅极与源/漏之间的电容,来源于栅极多晶硅在制造时物理上延伸并覆盖到源漏区上方,形成平行板电容, 即Overlap层

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Channel Capacitance | 沟道电容

栅氧化层下方感应出的沟道电荷层,栅极与沟道之间形成的电容,此种电容对于不同的MOS管状态是不同的,具体如下三种状态:

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截止、线性、饱和区,对应的电容值

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P-N Junction Capacitance | 结电容(通常称为扩散电容)

CSBC_{SB}:源极与衬底之间;CDBC_{DB}:漏极与衬底之间。

来源于源/漏掺杂区与衬底形成的 pn 结,正常工作时该结反偏,形成耗尽层,等效为电容。其大小随反偏电压增大而减小(非线性)。

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如图所示,由两部分电容组成:

  1. 底板PN结电容CbottomC_{bottom}: CBottom=CjWLsC_{Bottom} = C_j W L_s, 其中CjC_j为单位面积的结电容
  2. 侧壁PN结电容CswC_{sw}: Csw=Cjsw×周长=Cjsw(W+2Ls)C_{sw} = C_{jsw} \times \text{周长} = C_{jsw}(W + 2L_s)

注意:这里周长为什么不是2(W+Ls)2(W + L_s)? 因为右侧这个沟道情况和衬底情况不太一样,本书中注释写到暂时忽略这部分电容,对于近似分析来说无伤大雅,但是在SPICE模型中实际上是有另外一个电容参数来决定这个电容的

总结

再来看下面这个图:

  1. CGSC_{GS}由两部分构成,第一部分是沟道电容,也就是gate、channel、source组成的CGSCC_{GSC}; 第二部分是Overlap层导致的,也就是结构电容CGSOC_{GSO}
  2. CGDC_{GD}同理CGSC_{GS}
  3. CSBC_{SB}CDBC_{DB}是结电容,如前所述
  4. CGB=CGCBC_{GB} = C_{GCB}沟道电容gate、channel、body组成的

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.25um工艺举例

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MOSFET 的动态行为——寄生电阻

电阻包括这么几类:

  1. MOS 电流电压特性导致的等效电阻"R_on"
  2. 源端和漏端本身这个掺杂区的电阻
  3. 接触电阻(挖孔一类)
  4. 导线电阻

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MOS结构电阻

这部分直接沿用前面的结论,只是一个定性计算:

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Req34VDDIDSAT(156λVDD)R_{eq}\approx \frac{3}{4}\frac{V_{DD}}{I_{DSAT}} \left(1-\frac{5}{6}\lambda V_{DD}\right)

源漏电阻

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对于源级、漏级的电阻可以用下面的式子表示:

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其中LS,DL_{S,D}为源/漏端的长度,见上图中的LDL_{D}WW为晶体管的宽度;RCR_C为接触电阻;RR_{\square}为源-漏扩散区的薄层电阻。

数字集成电路设计
Chapter 4:导线 Wire

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